簡介

圖一:氮化鋁的晶格結構(●:Al,○:N)

  氮化鋁(AlN)的原子之間主要以共價鍵結合,其結構屬於六方晶系之纖鋅礦型( Wurtzite;圖一 )因此具備高熔點與高熱傳導性。

  氮化鋁是極少數同時具備高熱傳導係數及電絕緣性的非金屬固體(表一 ),其熱傳導係數的理論值約320Wm-1k-1,是極具潛力的陶瓷基板材料(表二)。

氮化鋁的物理性質及熱性質(表一)
性 質
文獻報導值
單 位
  理論密度
3.26
gcm-3
  結晶構造
六方晶系
  熔  點(熱分解)
2400
K
  比  熱(25℃)
730
Jkg-1K-1
  熱膨脹係數(25~400℃)
4.4
10-6K-1
  熱傳導係數(25℃)
∼160
Wm-1K-1
  電  阻
1013∼1014
W.m
  介電常數(1MHZ)
8.6∼9.0
  介電強度
14
kVmm-1
幾種陶瓷構裝及基板材料的性質(表二)
特 性
AlN
Al2O3
BeO
SiC/BeO
基本性質
純度
密度
Wt.%
g/cm3
>99.6
3.25
>99.8
3.25
96
3.75
99.5
3.90
99.6
2.9
3.2
熱性質
熱傳導係數(PT~100℃)

熱膨脹係數
(RT~400℃)
W/m.K

10-4/℃
140
130
4.4
260
220
4.4
20

7.2
30

7.4
250
190
7.5
270
210
3.7
電氣性質
絕緣電阻率
介電常數(1MHZ)
Tand (1MHZ)
W.cm

10-4
>1014
8.9
3~10
>1015
9.3
3
>1015
9.7
1
>1014
6.7
4
>1013
40
50
機械性質
硬度
抗折強度
破裂韌性值

Kg/mm2
Kg/mm2
MN.m-2/3

1200
30~40
3.0
2500
30~35
1200
24
2500
45
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